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泰思肯扫描电子显微镜应用对比

发布时间:2021-08-09



      扫描电子显微镜是一种多功能的工具,可以以几纳米的分辨率获得材料表面结构和形态的图像;它还提供定性 (BSE) 和定量 (EDX,横向分辨率约为 1µm) 的化学信息。泰思肯扫描电镜使用 3 台TESCAN设备:2 个 FEG 源(FERA 和 LYRA)和 1 个带可变压力选项的钨源 (VEGA)。 


分析的样品:各种材料
绝缘体(Flood gun)、聚合物、有机产品、生物样品、粉末、玻璃、半导体、金属、合金


看看一个充满实际应用的画廊。


TESCAN-FERA3 和 LYRA3-FEG 源、EDX、EBSD

 TESCAN FERA3 和 LYRA3 均采用高性能 FEG SEM 系统,配备高亮度肖特基发射器,可实现高分辨率、低噪声成像。 这些 SEM 设备用于分析所有类型的材料,并提供 SEM 最新技术和发展带来的所有优势。 这些设备配备 EDX 和 EBSD 探测器:
 能量色散X射线光谱(EDX)是一种分析电子束与样品相互作用产生的特征X射线,并以光谱(直方图)的形式提供样品的元素组成的技术。 ),其中可以识别单个元素。 在 EDX 光谱中 的峰对应于特定元素的特征 X 射线线。 因此,光谱学提供了样品的定量化学表征。
 电子背散射衍射 (EBSD) 是一种用于 SEM 的微量分析技术,用于研究样品表面的晶体结构和晶体取向,直至纳米级。 EBSD 提供有关晶体和多晶样品的宝贵信息,以帮助研究人员表征和了解材料的特性。 EBSD 提供有关局部晶体取向、相、晶粒形态特征、晶粒边界和取向织构、样品中的内应力和缺陷的信息,并且许多其他信息可以通过这种显微分析技术确定。
 这两个系统还与 FIB 相结合:聚焦离子束扫描电子显微镜 (FIB-SEM) 开辟了一个新功能的世界,使应用成为可能,否则这两个独立系统都不可能实现。 FIB-SEM 系统中的配置使电子束和离子束焦点重合,从而优化了许多应用。 此功能可在 FIB 铣削任务期间实现同步 SEM 成像 - 在所有需要极高精度的 FIB 操作中,性能和吞吐量的重大飞跃。
 
 电子源:高亮度肖特基发射极
 分辨率 1,2 nm at 30keV
 BSE 分辨率 2 nm à 30keV
 30keV 放大倍数 1x – 1 000 000x
 最大成像视场:6,0 mm(工作距离 9 mm); 17 毫米(工作距离 30 毫米)
 BDT:200 eV 至 30 keV
 尖端电流:2 pA à 200 nA

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